1 简介

真(zhen)空泵是一(yi)种旋转式变容真(zhen)空泵须有前(qian)级泵配合(he)方可(ke)使用在较宽的压力(li)范围内(nei)有较大(da)的抽(chou)速对(dui)被抽(chou)除气体中含有灰(hui)尘和水蒸(zheng)汽不敏(min)感(gan)广(guang)泛用于(yu)冶金(jin)、化工、食品、电子镀膜等行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在较宽的(de)压力范围内有较大的(de)抽(chou)速；

(2)转子具有良(liang)好(hao)的几何对(dui)称性，故(gu)振(zhen)动小(xiao)，运转平稳。转子间及转子和壳体(ti)间均有间隙，不用润(run)滑，摩(mo)擦损(sun)失小(xiao)，可大(da)(da)大(da)(da)降(jiang)低驱动功率，从而可实现较高转速；

(3)泵(beng)腔内无需用油密(mi)封和润滑，可减少油蒸气对真(zhen)空系统(tong)的污染；

(4)泵腔(qiang)内(nei)无(wu)压缩，无(wu)排气(qi)阀。结构(gou)简单、紧凑，对被(bei)抽气(qi)体中的灰尘和(he)水蒸汽不敏感；

(5)压缩(suo)比较低，对氢气(qi)抽气(qi)效果差；

(6)转子(zi)表面为形状(zhuang)较为复(fu)杂的曲线柱面，加工和检查(cha)比(bi)较困难(nan)。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构型式

真(zhen)空泵的(de)泵体的(de)布置结构(gou)决定了(le)泵的(de)总(zong)体结构(gou)。

立(li)式结(jie)构的进、排气口水平设置，装配和连接管(guan)路都(dou)比较方便(bian)。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故(gu)这种(zhong)型式多(duo)用于小泵。

卧式泵(beng)的进(jin)气(qi)口(kou)在(zai)上，排气(qi)口(kou)在(zai)下。有时(shi)(shi)为(wei)了真空(kong)系统管道安装连接方(fang)便，可(ke)(ke)将排气(qi)口(kou)从(cong)水平(ping)方(fang)向(xiang)(xiang)接出，即进(jin)、排气(qi)方(fang)向(xiang)(xiang)是相互(hu)垂直(zhi)的。此(ci)时(shi)(shi)，排气(qi)口(kou)可(ke)(ke)以(yi)从(cong)左或右两个方(fang)向(xiang)(xiang)开(kai)口(kou)，除接排气(qi)管道一(yi)端外，另一(yi)端堵死或接旁通(tong)阀。这种泵(beng)结(jie)构重心低，高速运(yun)转(zhuan)时(shi)(shi)稳定性(xing)好。一(yi)般大(da)、中(zhong)型(xing)泵(beng)多采用此(ci)种结(jie)构。

泵的两个转子(zi)轴与水平面垂(chui)直安装。这种结构(gou)装配间(jian)隙容(rong)易控制，转子(zi)装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且(qie)齿轮拆装不便，润滑机(ji)构(gou)也相对复杂。

（2） 泵的传动(dong)方式

真空泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)两个转(zhuan)(zhuan)子(zi)是(shi)(shi)通过(guo)一对高精度(du)齿(chi)(chi)轮(lun)(lun)来实(shi)现(xian)其相对同步运转(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)(de)(de)。主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴通过(guo)联(lian)轴器与电(dian)机(ji)联(lian)接。在传动(dong)(dong)结构布置上主(zhu)(zhu)(zhu)要有(you)以下两种：其一是(shi)(shi)电(dian)动(dong)(dong)机(ji)与齿(chi)(chi)轮(lun)(lun)放在转(zhuan)(zhuan)子(zi)的(de)(de)(de)(de)(de)同一侧如(ru)图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)由电(dian)动(dong)(dong)机(ji)端齿(chi)(chi)轮(lun)(lun)直接传过(guo)去带动(dong)(dong)，这(zhei)样主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)子(zi)轴的(de)(de)(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)变形小(xiao)，则两个转(zhuan)(zhuan)子(zi)之(zhi)间(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)不会(hui)因主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴的(de)(de)(de)(de)(de)扭(niu)转(zhuan)(zhuan)变形大而改(gai)变，故使转(zhuan)(zhuan)子(zi)之(zhi)间(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)间(jian)隙(xi)在运转(zhuan)(zhuan)过(guo)程中均匀。这(zhei)种传动(dong)(dong)方式(shi)的(de)(de)(de)(de)(de)最大缺(que)点(dian)是(shi)(shi)：a.主(zhu)(zhu)(zhu)动(dong)(dong)轴上有(you)三个轴承，增加(jia)了泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)工和装(zhuang)配难度(du)，齿(chi)(chi)轮(lun)(lun)的(de)(de)(de)(de)(de)拆装(zhuang)及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵(beng)的(de)(de)(de)(de)(de)重(zhong)心偏向电(dian)动(dong)(dong)机(ji)和齿(chi)(chi)轮(lun)(lun)箱(xiang)一侧。

    极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)一个重要(yao)参数(shu)，是(shi)反(fan)应(ying)泵(beng)抽(chou)气能力的(de)(de)(de)特性值(zhi)(zhi)(zhi)，是(shi)与(yu)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)相关的(de)(de)(de)一个数(shu)值(zhi)(zhi)(zhi)，不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)泵(beng)可以(yi)有(you)不(bu)同(tong)的(de)(de)(de)“极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”度(du)。而“理论真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)”是(shi)理论研究时的(de)(de)(de)一个概(gai)念，是(shi)排除(chu)各(ge)种实(shi)际因(yin)素的(de)(de)(de)影(ying)响而提炼出的(de)(de)(de)一种最理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)容(rong)器(qi)经充分抽(chou)气后，稳(wen)定在某一真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)，此真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)度(du)称为极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)容(rong)器(qi)须经12小(xiao)时炼气，再经12小(xiao)时抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)，最后一个小(xiao)时每隔(ge)10分钟测量一次(ci)，取其10次(ci)的(de)(de)(de)平均值(zhi)(zhi)(zhi)为极限(xian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)值(zhi)(zhi)(zhi)。